高壓放大器
高壓放大器設備參數:
輸出電壓范圍: 0至±10 kV DC或AC峰值
輸出電流范圍: 0至±10 mA DC或±40 mA峰值(1 ms)輸入電壓范圍: 0至±10 V DC 或AC峰值
輸入阻抗: 20 kΩ ,標稱值
直流電壓增益: 1000 V / V
直流電壓增益精度: 優(yōu)于滿量程的0.1%
直流失調電壓: 低于±2V
輸出噪聲: 低于0.5 V rms *
轉換速率(10%至90%):優(yōu)于700 V /μs
小信號帶寬(-3dB): DC至優(yōu)于60 kHz
大信號帶寬(-3 dB):DC至優(yōu)于19.5 kHz
大信號帶寬 (1%失真率): DC至優(yōu)于9.5 kHz
穩(wěn)定性
隨時間穩(wěn)定性:低于100 ppm /hr,(不可累積)
隨溫度穩(wěn)定性:低于100 ppm /°C
電壓監(jiān)控
比率: 1 V / 1000 V
直流精度: 優(yōu)于滿量程的0.1%
直流偏置電壓: 低于±3 mV
輸出噪聲: 低于20 mV rms *
輸出阻抗: 47Ω
電流監(jiān)控
比率:1V/4mA
直流精度:優(yōu)于滿量程的1%
偏移電壓: 低于±10 mV
輸出噪聲:低于50 mV rms *
帶寬(-3dB): DC至高于10 kHz
輸出阻抗: 47Ω
典型應用:
加速器、壓電陶瓷、壓電薄膜極化、離子注入、電容充電、電子束、離子駐入等。